LIBS 技术在半导体材料检测中的应用

半导体产业对材料纯度要求极高。LIBS 技术为半导体材料痕量杂质检测提供了有效手段。

半导体 LIBS 检测面临特殊挑战：

为应对挑战，研究者开发了多种新技术：

目前 LIBS 在半导体领域的应用主要集中在：

随着技术进步，LIBS 有望在以下方面发挥作用：